共焦的几何结构允许使用较小尺寸的靶材,使设备非常适合工艺开发和研发生产。
共焦结构可提高膜层的均匀性、工艺多功能性。
具备多种选件以扩展相应能力的应用。
应用于航天、微电子、传感器、汽车、光学及能源等领域。
