垂直磁控溅射系列

                            垂直溅射配置可以最小化颗粒污染,适合靶材产生高颗粒的工艺开发及任何生产环境。

                            具有高产能、高均匀性及工艺灵活性。 

                            应用于航天、微电子、传感器、汽车、光学及能源等领域。